半导体晶片传送 AGV

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应用场景

自主走行型无人搬送车用于半导体和电子设备,在加工工具之间运送晶圆批次或精密部件。这些机器人在高度受控的洁净室环境中工作,对污染控制、定位精度和运行可靠性有着严格的要求。.

典型的移动挑战

  • 影响敏感元件的静电放电风险

  • 影响定位稳定性的微振动

  • 环氧树脂或涂层地板上的无标记要求

  • 频繁启停的连续工作周期

  • 对可靠性和维护间隔的高要求

Ubetter 移动解决方案

  • 防静电轮毂化合物可降低 ESD 风险

  • 精密加工的驱动轮可实现平稳的扭矩传输

  • 低跳动旋转脚轮可实现稳定和振动可控的移动

  • 滚轮硬度经过优化,与洁净室地面兼容

  • 负荷分配工程实现长期运行稳定性

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