AGV de transferencia de obleas semiconductoras

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Escenario de aplicación

Los vehículos autónomos guiados se utilizan en instalaciones de semiconductores y electrónica para transportar lotes de obleas o componentes de precisión entre herramientas de proceso. Estos robots operan en entornos de sala blanca muy controlados con requisitos estrictos de control de la contaminación, precisión de posicionamiento y fiabilidad operativa.

Retos típicos de la movilidad

  • Riesgos de descarga electrostática que afectan a componentes sensibles

  • Las microvibraciones influyen en la estabilidad del posicionamiento

  • Requisitos de ausencia de marcas en suelos epoxídicos o revestidos

  • Ciclos de trabajo continuos con frecuentes arranques y paradas

  • Altas expectativas de fiabilidad e intervalos de mantenimiento

Solución de movilidad Ubetter

  • Compuestos antiestáticos en las ruedas para reducir los riesgos de ESD

  • Ruedas motrices mecanizadas de precisión para una transmisión suave del par motor

  • Ruedas giratorias de bajo recorrido para un movimiento estable y con control de las vibraciones

  • Dureza de rueda optimizada para compatibilidad con suelos de salas limpias

  • Ingeniería de distribución de cargas para la estabilidad operativa a largo plazo

Tipos de productos recomendados